万业企业旗下凯世通状貌获上海市科技跳动奖一等奖
发布日期：2024-11-17 07:07 点击次数：188
10月23日，2023年度上海市科学时刻奖励大会在上海展览中心举行，犒赏为国度、为上海科技业绩和当代化成就作出卓绝孝敬的科技责任者。万业企业（600641.SH）旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）连合要点讹诈企业共同完成的“离子注入机时刻与讹诈产业化”状貌荣获上海市科技跳动奖一等奖。凯世通副总司理、首席时刻官夏世伟动作状貌第一完成东谈主出席大会并登台领奖。
凯世通暗示，这次获奖状貌所研发的奸险大束流离子注入机系列开垦是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件、CIS芯片的中枢开垦，开垦性能与踏实性证明罕见，罢了了集成电路要紧装备产业化遏制。
针对离子注入实质坐褥进程中亟需遏制的重要工程时刻问题，凯世通窜改构建了包括基础酌量和讹诈时刻在内的“通用平台+重要时刻模块+系统集成+讹诈时刻”齐备时刻体系，形成了一系列高价值的自主学问产权效果，包括获胜处理了芯片制造中奸险量条目下的超大剂量注入问题，裁汰了制形资本；完成了颗粒浑浊起源边界时刻，大幅提高了良率，得到紧迫工艺遏制等。
当今，凯世通已打造出多款离子注入机标杆状貌，在国内主流12英寸晶圆厂罢了了产业化并得益了批量重迭订单。跟着产业化程度加速，凯世通握续升迁产能，增强就业客户才气。
夏世伟暗示，这次获奖是凯世通研发团队阻难付出、握续拼搏的扫尾，凯世通坚握正向策画、窜改遏制，邃密联接天下前沿科技与产业需求，握续窜改鼓舞离子注入机原创性、引颈性科技攻关，操纵强化时刻上风，握续为客户提供性能罕见、踏实可靠、降本增效的先进开垦和工艺处理决策，致力就业国度集成电路产业高质料发展。
贵府走漏，上海市科学时刻奖由上海市东谈主民政府调处成就，是上海市长远实际科教兴国计策、东谈主才强国计策、窜改初始发展计策，就业高水平科技自立自立，加大对科学法则的第一发现者、时刻发明的第一创造者、窜改产业的第一开拓者、窜改理念的第一实际者的奖励。